আলফা-টা ফিল্মস ব্যাখ্যা করা হয়েছে: ফেজ কন্ট্রোল, পিউরিটি এবং স্পুটারিং টার্গেট
আলফা-ট্যান্টালাম, কাগজপত্র এবং ফ্যাব স্পেসিফিকেশনে α-তা লেখা, ট্যান্টালামের বডি-কেন্দ্রিক ঘন পর্যায় এবং এটি সেই পর্যায় যা সুপারকন্ডাক্টিং কোয়ান্টাম সার্কিট এবং উন্নত সেমিকন্ডাক্টর স্ট্যাকগুলি আসলে চায়। একটি রুম-তাপমাত্রার সিলিকন ওয়েফারের উপর স্পুটার ট্যান্টালম যার নেটিভ অক্সাইড এখনও রয়েছে এবং আপনি সাধারণত এর পরিবর্তে বিটা ফেজ পান: মোটামুটিভাবে নয় গুণ প্রতিরোধ ক্ষমতা, 1 K এর নিচে একটি সুপারকন্ডাক্টিং ট্রানজিশন তাপমাত্রা এবং একটি অক্সাইড ইন্টারফেস যা শান্তভাবে সংহত করে।
সংক্ষিপ্ত সংস্করণ: আলফা ফেজ একটি ফলাফল যা আপনি প্রকৌশলী, আপনি অর্ডার একটি গ্রেড না. সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা, বীজ স্তর, কাজের চাপ এবং ফিল্মের বেধ সিদ্ধান্ত নেয় কোন ধাপটি বৃদ্ধি পায়; অক্সিজেন সামগ্রী, বিশুদ্ধতা এবং শস্যের গঠন টেন্টালাম দিয়ে আপনি শুরু করেন তা নির্ধারণ করে যে প্রক্রিয়া উইন্ডোটি কতটা প্রশস্ত। যখন ইনকামিং ধাতু অত্যধিক অক্সিজেন বা ইন্টারস্টিশিয়াল নাইট্রোজেন বহন করে, তখন প্যারামিটার টিউনিং কাজ করা বন্ধ করে দেয় এবং আপনি এটিকে কোহেরেন্স ডেটা বা ওয়েফারগুলি ইতিমধ্যে প্রক্রিয়া করার পরে কণা গণনা থেকে আবিষ্কার করেন।
স্পুটারড ট্যানটালাম ফিল্মের জন্য সাহিত্য থেকে প্রতিনিধিত্বমূলক মধ্য-পরিসরের মান; জমা শর্ত এবং অপবিত্রতা বিষয়বস্তুর সাথে প্রকৃত মান পরিবর্তন হয়। প্রতিটি প্যানেল তার নিজস্ব স্কেল আঁকা হয়.
দুটি বারের মধ্যে সেই ফাঁকটি হল কারণ ফেজ নিয়ন্ত্রণকে একটি উপাদান পাদটীকা না করে একটি প্রক্রিয়া সমস্যা হিসাবে বিবেচনা করা হয়। α-Ta কী, এটি একটি স্পটার টুলে কীভাবে তৈরি হয়, যেখানে সরবরাহ চেইন এটিকে ভেঙে দিতে পারে এবং আপনি ক্রয়ের অর্ডারে স্বাক্ষর করার আগে কোন স্পেসিফিকেশন ক্ষেত্রগুলি নিয়ে তর্ক করা উচিত।
আলফা-টা কী এবং বিটা-টা কোথা থেকে আসে
ট্যানটালামের দুটি পাতলা-ফিল্ম ব্যক্তিত্ব রয়েছে এবং তারা একই রকম আচরণ করে না। আলফা-ট্যান্টালম হল বাল্ক-স্থিতিশীল শরীর-কেন্দ্রিক ঘন পর্যায়। বিটা-ট্যান্টালাম হল একটি মেটাস্টেবল টেট্রাগোনাল ফেজ যা ঠান্ডা, নিরাকার বা অক্সিডাইজড পৃষ্ঠে পরমাণু অবতরণ করার সময় সহজেই গঠন করে এবং বিসিসি জালিতে নিজেদেরকে সাজানোর জন্য শক্তির অভাব হয়। একটি রুম-তাপমাত্রার ওয়েফারে একটি ন্যানোমিটার বা দুটি নেটিভ SiO2 বহন করে, বিটা হল ডিফল্ট ফলাফল। একটি উত্তপ্ত স্তর বা একটি স্ফটিক বীজ স্তর ভারসাম্য অন্যভাবে টিপস.
উভয় পর্যায় প্রকৃত ট্যানটালাম। পার্থক্যটি স্ট্রাকচারাল, এবং এটি প্রতিটি বৈদ্যুতিক সংখ্যায় প্রদর্শিত হয় যা নীচের দিকে গুরুত্বপূর্ণ।
| সম্পত্তি | α-তা (BCC) | β-টা (tetragonal) |
|---|---|---|
| স্ফটিক গঠন | শরীর-কেন্দ্রিক ঘন, বাল্ক-স্থিতিশীল | মেটাস্টেবল টেট্রাগোনাল (β-U প্রকার) |
| রুম-তাপমাত্রার প্রতিরোধ ক্ষমতা | প্রায় 15 থেকে 25 µΩ· সেমি | প্রায় 150 থেকে 200 µΩ·cm |
| সুপারকন্ডাক্টিং ট্রানজিশন তাপমাত্রা | কাছাকাছি 4.4 কে | মোটামুটি 0.5 থেকে 0.9 K |
| সাধারণ হিসাবে জমা শর্ত | উত্তপ্ত সাবস্ট্রেট বা Nb/TaN বীজ স্তর | নেটিভ অক্সাইডে ঘরের তাপমাত্রা |
| সাধারণ ডিভাইস ব্যবহার | কিউবিট ধাতু, কম-ক্ষতির অনুরণনকারী, তামার প্রসারণ বাধা | পাতলা-ফিল্ম প্রতিরোধক, কিছু বাধা স্ট্যাক |
| অ্যানিল উপর আচরণ | উচ্চ তাপমাত্রায় স্থিতিশীল | উচ্চ তাপমাত্রায় আলফার দিকে স্থানান্তরিত হয় |
স্পুটারিংয়ের সময় α-Ta ফিল্মগুলি কীভাবে তৈরি হয়
বর্তমানে ডিভাইসে ব্যবহৃত প্রায় সমস্ত α-Ta ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং দ্বারা জমা হয়, তা DC, RF বা HiPIMS যাই হোক না কেন, 4N থেকে 5N পরিসরে ট্যান্টালাম লক্ষ্যবস্তু থেকে। নীলকান্তমণি, সিলিকন এবং ফটোরেসিস্ট লিফ্ট-অফ সাবস্ট্রেটের তুলনা করে সাম্প্রতিক বৃদ্ধির অধ্যয়ন একই সিদ্ধান্তে পৌঁছাতে থাকে: ফিল্মটি তার নিজস্ব পর্যায় বেছে নেয় না, প্রক্রিয়াটি এটিকে বেছে নেয়।
চারটি লিভার যা ফেজ নির্ধারণ করে
- সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা। সিলিকনে মোটামুটি 400 °C এর উপরে, অ্যাডাটমগুলি BCC জালিতে বসতি স্থাপন করার জন্য যথেষ্ট পৃষ্ঠতল গতিশীলতা অর্জন করে; তার নিচে, টেট্রাগোনাল ফেজ নিউক্লিয়েট প্রথমে থাকে এবং প্রায়ই থাকে।
- বীজ স্তর। একটি পাতলা Nb, TaN বা TiN স্তর নিরাকার SiO2 এর চেয়ে α-Ta-এর সাথে একটি ঘনিষ্ঠ জালির মিল সহ একটি টেমপ্লেট সরবরাহ করে এবং এটি স্তর থেকে অক্সিজেন প্রসারণকেও বাধা দেয়।
- কাজের চাপ এবং আয়ন শক্তি। মাঝারি শক্তিশালী আয়ন বোমাবাজি সহ নিম্নচাপ ক্রমবর্ধমান ফিল্মকে ঘনীভূত করে এবং আলফা নিউক্লিয়েশনকে সমর্থন করে, যখন খুব উচ্চ চাপ ছিদ্রযুক্ত কলামার বিটা দেয়।
- বেধ এবং হার। ফেজ বিষয়বস্তু পুরুত্বের সাথে প্রবাহিত হতে পারে, তাই একটি স্ট্যাক যা আলফাতে নিউক্লিয়েট 200 এনএম স্তরের মাধ্যমে সেখানে নাও থাকতে পারে যদি জমার হারকে খুব বেশি চাপ দেওয়া হয়।
কেন ফিডস্টক এখনও গুরুত্বপূর্ণ
এই লিভারগুলির প্রতিটি সত্যিই অক্সিজেন এবং নাইট্রোজেনের বিরুদ্ধে লড়াই। ইন্টারস্টিশিয়াল অমেধ্যগুলি BCC পর্বের জন্য শক্তির বাধা বাড়ায় এবং বিটাকে স্থিতিশীল করে, এই কারণেই টাইট অক্সিজেন এবং নাইট্রোজেন সীমাবদ্ধ লক্ষ্যগুলি বৃহত্তর প্রক্রিয়া উইন্ডোগুলি সহ্য করে এবং তাপমাত্রা এবং চাপকে সুরক্ষিত করার জন্য আপনাকে আরও জায়গা দেয়।
যদি আপনার স্ট্যাক একটি niobium বীজ স্তর ব্যবহার করে, আলফা বৃদ্ধির জন্য সবচেয়ে সাধারণ টেমপ্লেট, তাহলে বীজ ধাতুটির উপরে ট্যানটালামের মতো একই বিশুদ্ধতা শৃঙ্খলার প্রয়োজন, কারণ একটি দূষিত বীজ কেবল সমস্যাটিকে এক ইন্টারফেস আরও নিচে নিয়ে যায়।
নিওবিয়াম পিন্ড বিশুদ্ধতা: 99.99% সর্বোচ্চ মাত্রা: 400mm সর্বোচ্চ ওজন: 2 টন প্যাকেজিং: প্রসারিত ফিল্মে মোড়ানো। বাইরের বাক্সগুলি মুক্তা দিয়ে রপ্তানি-বান্ধব কাঠের ক্রেটে প্যাক করা হয় ... পণ্য দেখুন → কেন কোয়ান্টাম এবং সেমিকন্ডাক্টর দল আলফা ফেজ নির্দিষ্ট করে
একটি সুপারকন্ডাক্টিং কিউবিটে, ক্ষতির প্রতিটি উত্স একটি সংক্ষিপ্ত সুসংগত সময় হিসাবে দেখায়। ফেজ একটি প্রসাধনী বিশদ নয়, এটি একবারে চারটি জিনিস পরিবর্তন করে:
- মাইক্রোওয়েভ ক্ষতি। 15 থেকে 25 µΩ·cm পরিসরে রেসিস্টিভিটি রেজোনেটর এবং ইন্টারকানেক্ট লস কম রাখে, যা সার্কিট ডিজাইনকে সহজ করে।
- অপারেটিং মার্জিন। 4.4 K এর কাছাকাছি একটি ট্রানজিশন তাপমাত্রা ডিভাইসগুলিকে ডিলিউশন-ফ্রিজ তাপমাত্রায় স্থানীয় গরম করার জন্য হেডরুম সহ আরামে সুপারকন্ডাক্টিং রাখে।
- ইন্টারফেসের গুণমান। নীলকান্তমণি বা একটি সঠিক বীজ স্তরে জন্মানো আলফা ফিল্মগুলি তীক্ষ্ণ ধাতু-থেকে-সাবস্ট্রেট ইন্টারফেস এবং কম দ্বি-স্তরের সিস্টেমের ত্রুটি তৈরি করে, যা প্ল্যানার ট্রান্সমনগুলিতে প্রভাবশালী ডিকোহেরেন্স মেকানিজম।
- বাধা আচরণ। যেখানে ট্যান্টালাম আন্তঃসংযোগের স্তূপের মধ্যে একটি তামার প্রসারণ বাধা হিসাবে কাজ করে, সেখানে একটি ঘন বিসিসি ফিল্ম একটি ছিদ্রযুক্ত টেট্রাগোনালকে ছাড়িয়ে যায়।
বেতন পরিমাপযোগ্য। 2021 সালে প্রকাশিত কাজগুলি নীলকান্তমণি-ভিত্তিক ট্রান্সমন কিউবিটগুলিকে 0.3 মিলিসেকেন্ডের বেশি সহনশীলতা দেখিয়েছে, যা তুলনামূলক নিওবিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম ডিভাইসগুলি সরবরাহ করে তার কয়েকগুণ। এই ফলাফলটি তখনই পুনরুত্পাদন করে যখন ফিল্মটি আলফা ফেজ, অক্সিজেনের পরিমাণ কম এবং ওয়েফার থেকে ওয়েফারে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
ইনগট থেকে টার্গেট পর্যন্ত: আলফা-টা এর পিছনে বিশুদ্ধতা চেইন
ডিভাইস-গ্রেড α-Ta স্পুটার চেম্বারের অনেক আগে শুরু হয়। শিল্প শৃঙ্খল বিশুদ্ধকরণ এবং ঢালাইয়ের মাধ্যমে গলে যাওয়া থেকে শুরু করে, তারপরে ঘূর্ণায়মান, ফরজিং বা যন্ত্রের লক্ষ্যমাত্রার জ্যামিতিতে যন্ত্রের প্রয়োজন। প্রতিটি ধাপ হয় অক্সিজেন এবং ধাতব দূষণ যোগ করে বা অপসারণ করে যা পরবর্তীতে আপনার ফেজ উইন্ডোকে সংজ্ঞায়িত করে।
1. পরিশোধন 2. গলে যাওয়া 3. কাস্টিং 4. প্রক্রিয়াকরণ
পরিকল্পিত: প্রক্রিয়াকরণের ক্রমে ট্যানটালাম সাপ্লাই চেইনের চারটি ধাপ (1 থেকে 4)। বিভাগগুলি শুধুমাত্র চিত্রের জন্য সমান আকারের এবং খরচ, সময় বা দূষণের ঝুঁকির ভাগের প্রতিনিধিত্ব করে না।
সেই চেইনের দুটি সংখ্যা মনোযোগের দাবি রাখে। প্রথমটি হল বিশুদ্ধতা: 4N (99.99%) ট্যানটালাম সাধারণ, 5N (99.999%) সবচেয়ে ক্ষতি-সংবেদনশীল কাজের জন্য নির্দিষ্ট করা হয়, এবং সাধারণত যা গুরুত্বপূর্ণ তা হেডলাইন চিত্র নয় কিন্তু সোডিয়াম, পটাসিয়াম, লোহা, তামা, টংস্টেন এবং মলিবডেনামের স্বতন্ত্র সীমা, মোবাইল পিএমপিএম এবং ম্যাগনেটিক লেভেলের ম্যাগনেটিকস। ক tantalum ingot ভ্যাকুয়াম গলানোর দ্বারা উত্পাদিত একটি পুনরায় গলিত স্ক্র্যাপ রুটের তুলনায় একটি ক্লিনার প্রারম্ভিক বিন্দু দেয় এবং এই পার্থক্যটি ফিল্মের সমস্ত উপায়ে বেঁচে থাকে।
দ্বিতীয় সংখ্যা অক্সিজেন। ইলেকট্রনিক-গ্রেডের ট্যান্টালম সাধারণত 100 পিপিএম-এর নিচে ভালভাবে ধরে রাখা হয় এবং বিশ্লেষণাত্মক প্রতিবেদনটি জিডিএমএস থেকে ট্রেস ধাতু এবং অক্সিজেন, নাইট্রোজেন এবং হাইড্রোজেনের জন্য জড়-গ্যাস ফিউশনের জন্য আসা উচিত। শস্যের গঠন এবং ঘনত্ব লক্ষ্যমাত্রার দিকেই গুরুত্বপূর্ণ: সূক্ষ্ম, অভিন্ন দানা সহ একটি ঘন লক্ষ্য স্থিতিশীল হারে ছিটকে পড়ে এবং কম কণা নিক্ষেপ করে, যখন একটি ছিদ্রযুক্ত বা মোটা দানা প্রবাহিত হয় এবং নোডুল তৈরি করে যা ফিল্মের ত্রুটি হিসাবে শেষ হয়।
উচ্চ বিশুদ্ধতা ta ধাতু সরবরাহকারী ট্যানটালাম ইনগট বিশুদ্ধতা: 99.99% সর্বাধিক আকার: কাস্টমাইজযোগ্য সর্বোচ্চ ওজন: কাস্টমাইজযোগ্য প্যাকেজিং: প্রসারিত ফিল্মে মোড়ানো। বাইরের বাক্সগুলি রপ্তানি-বান্ধব উওতে প্যাক করা হয়... পণ্য দেখুন → PO-তে লেখার মূল্যের স্পেসিক্স ক্রয় করুন
বেশিরভাগ ফেজ সমস্যা যা একটি ফ্যাব ট্রেস ফিরে একটি ক্রয় আদেশ যা ধাতু খুব শিথিলভাবে বর্ণনা করা হয়েছে. এই ক্ষেত্রগুলি "মানক বাণিজ্যিক গুণমান" এ ছেড়ে যাওয়ার পরিবর্তে স্পষ্টভাবে উল্লেখ করার মতো ক্ষেত্র।
| স্পেসিফিকেশন | ব্যবহারিক লক্ষ্য | কেন এটা গুরুত্বপূর্ণ |
|---|---|---|
| বাল্ক বিশুদ্ধতা | 4N5 থেকে 5N, প্রতি লটে প্রত্যয়িত | ট্রেস ধাতু নিয়ন্ত্রণের জন্য বেসলাইন সেট করে |
| অক্সিজেন | 100 পিপিএম-এর নিচে, লস-সমালোচনামূলক চলচ্চিত্রের জন্য 50 পিপিএম-এর নিচে | অক্সিজেন stabilises beta phase and raises interface loss |
| চৌম্বকীয় চিহ্ন (Fe, Ni, Cu) | সম্মত ppm সিলিং, GDMS দ্বারা রিপোর্ট করা হয়েছে | এমনকি পিপিএম স্তরগুলি কিউবিট সমন্বয়কে ছোট করে |
| ক্ষার ধাতু (Na, K) | একক অঙ্কের পিপিএম | মোবাইল আয়নগুলি অক্সাইড স্ট্যাকের মধ্যে পক্ষপাতের অধীনে প্রবাহিত হয় |
| ঘনত্ব | 99% তাত্ত্বিক বা উচ্চতর | কম পোরোসিটি মানে কম কণা এবং স্থিতিশীল হার |
| বন্ধন | অকার্যকর-মুক্ত, সি-স্ক্যান দ্বারা যাচাইকৃত | Voids হট স্পট, arcing এবং প্রাথমিক লক্ষ্য ব্যর্থতা কারণ |
| ট্রেসেবিলিটি | ISO 9001 এবং IATF 16949 এর অধীনে লট-লেভেল রেকর্ড | একটি ফেজ ভ্রমণ উপাদান ফিরে ট্রেসযোগ্য করে তোলে |
পাশাপাশি বেধ, সমতলতা এবং শস্যের আকারের উপর সহনশীলতার জন্য জিজ্ঞাসা করুন। একটি লক্ষ্য যা একটি বিশুদ্ধতা দাবি পূরণ করে কিন্তু মাত্রিক সহনশীলতা মিস করে, তবুও আপনাকে একটি স্পটার প্রচারণা খরচ করতে হবে, এবং এর জন্য সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশন , requalification ধাতু নিজেই তুলনায় অনেক বেশি ব্যয়বহুল.
FAQ
আমি কি রুম-টেম্পারেচার ওয়েফারে আলফা-টা পেতে পারি?
হ্যাঁ, সাহায্যে। একটি পাতলা Nb বা TaN বীজ স্তর α-Ta কে ঘরের তাপমাত্রায় বা কাছাকাছি নিউক্লিয়েট হতে দেয় কারণ টেমপ্লেটটি উচ্চ অ্যাডাটম গতিশীলতার প্রয়োজনীয়তা দূর করে। একটি বীজ স্তর ছাড়া, অক্সিডাইজড সিলিকনে ঘর-তাপমাত্রা জমা সাধারণত বিটা ফেজ দেয়।
5N ট্যান্টালাম কি সবসময় 4N এর চেয়ে ভাল?
স্বয়ংক্রিয়ভাবে নয়। বিভিন্ন অক্সিজেন এবং লোহার মাত্রা সহ দুটি 5N লট একই স্পটার টুলে খুব ভিন্নভাবে আচরণ করতে পারে। লেবেলে নাইনের সংখ্যার চেয়ে সম্পূর্ণ বিশ্লেষণাত্মক শংসাপত্রের তুলনা করুন।
আমি আসলে কোন ফেজ পেয়েছি কিভাবে আমি নিশ্চিত করব?
এক্স-রে বিবর্তন হল সরাসরি উত্তর: α-Ta 38.5 ডিগ্রির কাছাকাছি BCC (110) প্রতিফলন দেখায়, যখন β-Ta 33.6 ডিগ্রির কাছাকাছি তার (002) শিখর দ্বারা চিহ্নিত করা হয়। শীট রেজিস্ট্যান্স এবং রেসিডুয়াল রেজিস্ট্যান্স রেশিও হল দ্রুত প্রক্সি, যেহেতু আলফা ফিল্ম কম রেজিসিটিভিটি এবং বিটা ফিল্মগুলি সেই মানের কয়েকগুণ বেশি।
আলফা-টা একটি ফেজ-নিয়ন্ত্রণ সমস্যা যা ধাতু দিয়ে শুরু হয়, রেসিপি দিয়ে নয়। অক্সিজেন পান এবং ধাতব প্রোফাইল সঠিকভাবে ট্রেস করুন, ঘনত্ব এবং শস্যের গঠন নিয়ন্ত্রণে রাখুন এবং প্রক্রিয়া উইন্ডোটি কাজ করার জন্য যথেষ্ট প্রশস্ত থাকে। CRNMC ISO 9001 এবং IATF 16949 এর অধীনে, পাঁচটি উৎপাদন বেস এবং আটটি উপাদান পরিবার জুড়ে পরিশোধন, গলন, ঢালাই এবং প্রক্রিয়াকরণের মাধ্যমে অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা ট্যানটালাম এবং সম্পর্কিত ধাতু উত্পাদন করে এবং স্ট্যান্ডার্ড অর্ডার সমর্থনের পাশাপাশি বিশুদ্ধতা পরীক্ষার প্রস্তাব দেয়। আপনার ফিল্ম স্ট্যাক যে স্পেসিফিকেশনে কাজ করছে তা পাঠান এবং আমরা আপনাকে বলব যে ফিডস্টক থেকে কী অর্জন করা যায়।
আমরা কে
Ningbo Chuangrun New Materials Co., Ltd. (CRNMC) জুন 2012 সালে প্রতিষ্ঠিত হয়েছিল এবং চীন জুড়ে পাঁচটি উৎপাদন ঘাঁটি রয়েছে। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম, নিকেল, তামা, নিওবিয়াম, কোবাল্ট ইত্যাদির পরিশোধন, গলে যাওয়া, ঢালাই এবং প্রক্রিয়াকরণের জন্য নিবেদিত এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা ইলেক্ট্রোলাইটিক ক্রিস্টাল, ইঙ্গট, নকল ইনগট, পাউডার এবং প্লেটের মতো ইলেকট্রনিক-গ্রেডের ধাতুগুলির সম্পূর্ণ পরিসর সরবরাহ করি।
আমাদের দলটি শিল্প বিশেষজ্ঞ এবং ধাতুবিদ্যা ব্যাকগ্রাউন্ড সহ 40 জন পেশাদারের একটি উদ্যোক্তা কর্মীদের সমন্বয়ে গঠিত, যাদের সকলেই উচ্চ-সম্পদ সামগ্রীর শিল্পায়নের জন্য নিবেদিত।
বর্তমানে, কোম্পানি তার অতি-বিশুদ্ধ উপাদান শিল্প শৃঙ্খলের বিন্যাস সম্পন্ন করেছে গুণমান, সময়মত ডেলিভারি এবং উন্নত গ্রাহক পরিষেবা নিশ্চিত করতে।
সমস্ত কর্মীরা প্রতিশ্রুতিবদ্ধ এবং অনুপ্রাণিত এবং গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য উন্মুখ।
শংসাপত্র
প্রেস ও মিডিয়া
